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質(zhì)量流量控制器常見故障介紹（二）

2021-09-10 07:44:44
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器可用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行控制和準(zhǔn)確測量，它大量用于電子工藝設(shè)備中，如等離子刻蝕、擴(kuò)散、濺射、外延、氧化、CVD等，以及光導(dǎo)纖維、鍍膜設(shè)備制造設(shè)備中，并廣泛用于冶金、制藥、石油化工等行業(yè)。
 
　　質(zhì)量流量控制器是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。質(zhì)量流量控制器可以通過模擬電流、模擬電壓，或者PLC、計(jì)算機(jī)提供設(shè)定值。
 
　　質(zhì)量流量控制器常見故障介紹
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